AccuRad TID-X仪器产品

把半导体TID测试工作流建在实验室内部

AccuRad TID-X面向晶圆、芯片、功率器件与电子模块的X射线总电离剂量测试,将辐照、剂量学、偏置、测量、软件和交付服务纳入统一系统方案。

实验室环境中的AccuRad TID-X半导体X射线总电离剂量测试系统概念视觉
产品概念视觉 · 型号、外观和配置以正式技术文件为准

产品定位

不是单一射线设备,而是一套测试能力

系统配置从应用问题出发:先确定需要验证的器件和数据,再定义辐照、剂量学、偏置、测量和现场条件。

器件研发与工艺评估

在受控X射线条件下比较不同器件、版图、工艺或偏置状态的累积电离响应。

可靠性与质量验证

把剂量节点、电参数或功能测量、判据和报告纳入可重复的内部流程。

公共测试与科研平台

面向多器件、多用户和多课题,配置可扩展的夹具、仪表和数据工作流。

企业实验室能力建设

从场地、防护和许可边界出发,协同规划设备、方法、培训和持续服务。

系统组成

四个协同工作的核心模块

各模块的最终型号、范围、通道和性能指标由正式技术协议确定,并与可验证的验收条件同步给出。

辐照与运动控制

围绕X射线源、样品平面、定位运动、快门、控制和必要的安全联锁形成受控辐照环境。

剂量学与场分布

根据参考介质、探测器、校准、剂量记录和均匀性评价要求配置剂量学链路。

样品、偏置与测量

结合样品封装、夹具、偏置通道、仪器接口、线缆和测量节点设计电学链路。

软件、记录与导出

统一管理方案配置、设备状态、剂量、偏置、测量、日志和数据导出。

测试工作流

从样品到数据导出

把样品信息、测试方案、剂量记录、偏置状态、测量结果和设备日志串联起来,帮助实验室建立可重复、可回看、可扩展的TID测试流程。

了解剂量学与夹具
AccuRad TID-X射线源、束流调节、剂量学、样品夹具、偏置和联锁功能架构示意图
内部功能架构示意 · 机械结构、部件与接口以受控技术文件为准

选型逻辑

先回答六个问题,再确定系统配置

避免只比较一个剂量率或功率数字;对实验室真正有影响的是样品、方法、数据和现场条件能否一起跑通。

器件

测什么器件?

晶圆、裸片、封装器件、板级组件或电子模块。

目标

验证什么问题?

工艺比较、器件筛选、可靠性研究、产品验证或科研教学。

剂量

需要什么剂量条件?

目标总剂量、剂量率、步进节点、参考介质和均匀性要求。

状态

样品如何工作?

静态或动态偏置、通道数量、限压限流、时序和异常处置。

测量

测量什么参数?

离线或在线测量、仪表接口、采样节奏、数据量和判据。

现场

现场具备什么条件?

场地、防护、许可、供电、排风、网络、物流和运维能力。

交付与服务

从方案确认到持续运行

设备交付不以安装结束;应用方法、验收记录、培训、维护和后续扩展共同决定实验室能力能否持续使用。

01

应用需求评估

明确器件范围、样品尺寸、目标剂量、偏置、测量项目、通量需求和使用频率。

02

系统配置与技术协议

确认主机、剂量学、夹具、仪表、软件、接口、现场条件和验收方法。

03

制造与现场准备

同步推进设备制造、场地、防护、许可、供电、排风、网络和安装条件。

04

安装、验收与培训

按技术协议完成安装、功能和性能验收,并导入约定的操作与应用方法。

05

持续服务与扩展

提供校准、维护、复训、夹具扩展、软件升级和应用支持。

许可与安全边界采用X射线方案可避免同位素放射源的采购、运输与更换;射线装置的生产、销售和使用仍须依法履行辐射安全许可、防护、监测和人员管理要求。

预约测试

需要评估TID-X配置?

提供非敏感的器件范围、样品尺寸、目标剂量、偏置、测量项目和预计使用频率,我们将先完成应用和设施边界评估。

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